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无尘车间的百级洁净室垂直层流式方向要保持均一气流必须：a吹出面的风速不可有速度上的差异；b地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高0.2m/s，0.7m/s均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目般无尘室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

影响无尘车间的气流因素很多，如制程[1][2][3]设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，净化工程公司，亦应列入考虑因素。

一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

无尘车间内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，净化安装工程，将使涡流现象减少至低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

净化概念  

净化概述：在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细jun等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所---设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。我们通常称之为无尘车间。